一種晶體稱重裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811390172.9 申請日 -
公開（公告）號 CN109338468B 公開（公告）日 2021-04-06
申請公布號 CN109338468B 申請公布日 2021-04-06
分類號 C30B29/20;C30B15/24 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 李輝;王守琛;毛洪英;張熠;大衛(wèi)·肯尼斯·李斯 申請（專利權）人 南京晶升裝備股份有限公司
代理機構 南京蘇高專利商標事務所（普通合伙） 代理人 張弛
地址 210000 江蘇省南京市南京經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)紅楓科技園B4棟西側
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種用于大重量級藍寶石晶體的長晶爐的晶體稱重裝置。由于現(xiàn)有的藍寶石長晶爐，普遍是將晶體稱重裝置安放于真空腔外,而與水冷式籽晶轉軸分離，其密封設計比較簡單，但稱重誤差明顯。真空腔內(nèi)外壓力變化使水冷式籽晶轉軸及稱重傳感器受額外的隨機的壓差載荷，導致晶體稱重出現(xiàn)隨機的不可控誤差。本發(fā)明即為解決此難題，將晶體稱重裝置安放于真空腔內(nèi)，即與長晶真空腔室直接連通，以徹底消除真空腔內(nèi)外的隨機壓差載荷對晶體稱重影響，且此裝置帶有循環(huán)冷卻水系統(tǒng)，通過合理設計動態(tài)密封的循環(huán)冷卻水系統(tǒng)，避免意外泄漏而污染真空腔。