一種邊界條件可調(diào)的腔室及長(zhǎng)晶爐
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010999395.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112501693A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-03-16 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112501693A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-03-16 |
| 分類(lèi)號(hào) | C30B29/36;C30B35/00 | 分類(lèi) | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 李輝;毛瑞川;楊茜 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 南京晶升裝備股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南京蘇高專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 張弛 |
| 地址 | 211113 江蘇省南京市南京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)恒發(fā)路30-1號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種邊界條件可調(diào)的腔室，包括石英管、坩堝、圍繞石英管外圍設(shè)置的電磁感應(yīng)線圈、圍繞石英管及電磁感應(yīng)線圈外圍設(shè)置的水冷罩；所述水冷罩的內(nèi)層殼體、外層殼體均以隔離電磁輻射的材料制成。本發(fā)明提供的腔室采用若干組水冷環(huán)對(duì)石英管進(jìn)行邊界條件調(diào)節(jié)，水冷罩能夠有效的隔離電磁線圈產(chǎn)生的電磁輻射，并通過(guò)調(diào)節(jié)水冷環(huán)中冷卻水的流量調(diào)整對(duì)應(yīng)的熱場(chǎng)溫度，構(gòu)建適合晶體生長(zhǎng)的多段溫度梯度，從而提高晶體良率，同時(shí)也便于長(zhǎng)晶工藝的定型。本發(fā)明還提供了具有上述腔室的長(zhǎng)晶爐。 |
