一種具有底部隔熱條的硅材料生長爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201922394894.8 申請日 -
公開（公告）號 CN211734534U 公開（公告）日 2020-10-23
申請公布號 CN211734534U 申請公布日 2020-10-23
分類號 C30B35/00;C30B29/06 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 李輝;鄭鍇;秦英謖;張熠;穆童 申請（專利權）人 南京晶升裝備股份有限公司
代理機構 南京蘇高專利商標事務所（普通合伙） 代理人 張弛
地址 211113 江蘇省南京市南京經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)紅楓科技園B4棟西側
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開一種具有底部隔熱條的硅材料生長爐，包括隔熱籠、坩堝、坩堝托盤、側加熱器；坩堝的底部外圍設有一個圓環(huán)狀石墨隔熱條，由于石墨材質的高導熱系數(shù)，使該石墨隔熱條能夠較快帶走石墨坩堝底部熱量。在不影響晶錠質量的情況下，加快了晶錠生長速率，更有利于晶錠散熱效果，使晶錠表面生長更加平整。