藍寶石單晶爐的晶體平衡提升裝置及提升方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811389677.3 申請日 -
公開（公告）號 CN109306524B 公開（公告）日 2021-01-05
申請公布號 CN109306524B 申請公布日 2021-01-05
分類號 C30B29/20;C30B17/00;C30B35/00 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 李輝;徐書忠;羅漢昌;王守琛;王榮 申請（專利權）人 南京晶升裝備股份有限公司
代理機構(gòu) 南京蘇高專利商標事務所（普通合伙） 代理人 張弛
地址 210000 江蘇省南京市南京經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)紅楓科技園B4棟西側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種藍寶石單晶爐的晶體平衡提升裝置及提升方法，包括提升部件、稱重部件、晶體生長部件、彎矩平衡部件和控制單元；所述彎矩平衡部件和稱重部件分別設置于所述提升部件的兩側(cè)，彎矩平衡部件的壓力傳感器、稱重部件的稱重傳感器將實時檢測到的平衡力和晶體重量數(shù)據(jù)傳遞給控制單元，控制單元通過計算并控制流量調(diào)節(jié)閥調(diào)節(jié)施加的平衡力的大小，使得提升部件受到的彎矩為控制單元預設的彎矩目標值。該裝置能夠平衡掉大部分負載彎矩和系統(tǒng)彎矩，使得提升部件所承載的彎矩大大減小，提高了可提升晶體的重量。該提升方法在晶體提升過程中，提升部件承受彎矩值保持不變，使提升過程更加平穩(wěn)，提高了提升的精度，有利于穩(wěn)定長晶。