一種軸向溫度多梯度可控的熱場(chǎng)及長(zhǎng)晶爐
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010998979.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN112176396A | 公開（公告）日 | 2021-01-05 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112176396A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-01-05 |
| 分類號(hào) | C30B11/00;C30B29/36 | 分類 | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 李輝;毛瑞川;楊茜 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 南京晶升裝備股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 張弛 |
| 地址 | 211113 江蘇省南京市南京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)紅楓科技園B4棟西側(cè) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種軸向溫度多梯度可控的熱場(chǎng)，包括石英管、收容于石英管內(nèi)部的坩堝、圍繞石英管外圍的上線圈、圍繞石英管外圍的中線圈、圍繞石英管外圍的下線圈；所述上線圈配有跟隨上線圈移動(dòng)的上紅外高溫計(jì)、中線圈配有跟隨中線圈移動(dòng)的中紅外高溫計(jì)、下線圈配有跟隨下線圈移動(dòng)的下紅外高溫計(jì)。紅外高溫計(jì)跟隨每區(qū)線圈移動(dòng)，可以根據(jù)測(cè)得的數(shù)據(jù)，調(diào)節(jié)各感應(yīng)線圈功率大小，真正實(shí)現(xiàn)溫度梯度可調(diào)。該技術(shù)方案可控性強(qiáng)，操作方便，避免了傳統(tǒng)單扎感應(yīng)線圈帶來的溫度梯度不可調(diào)的問題。本發(fā)明還提供了具有上述熱場(chǎng)的長(zhǎng)晶爐。 |
