制造射頻諧振器和濾波器的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810006424.7 申請日 -
公開（公告）號 CN108259020B 公開（公告）日 2021-08-20
申請公布號 CN108259020B 申請公布日 2021-08-20
分類號 H03H9/17;H03H9/54;H03H3/02 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請（專利權(quán)）人 珠海晶訊聚震科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州嘉權(quán)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 俞梁清
地址 519000 廣東省珠海市高新區(qū)南方軟件園Bee
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種制造由諧振器陣列組成的RF濾波器的方法，包括：獲得可移除載體；生長壓電薄膜；施加第一電極到薄膜；在硅蓋上制備背膜；將背膜附接至第一電極；分離可移除載體；測量和修整壓電薄膜；制造諧振器島；向下蝕刻穿過涂層和背膜，至二氧化硅層以形成溝槽；將鈍化層施加至溝槽和壓電島；沉積第二電極層；添加連接至轉(zhuǎn)接線路板；移除第二電極材料以留出諧振器陣列；于陣列周界建造圍繞墊圈；將硅蓋削?。辉诠枭w上鉆孔，蝕刻掉二氧化硅，在背膜和硅蓋之間制造上腔體；將晶圓分割成單元濾波器陣列；獲取轉(zhuǎn)接線路板；將大壩施加于轉(zhuǎn)接線路板；通過回流焊接錫頭將單元濾波器陣列耦合至轉(zhuǎn)接線路板；使用聚合物進(jìn)行底部封裝；以及分離成濾波器模塊。