具有分揀保護(hù)結(jié)構(gòu)的垂直腔面發(fā)射激光器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110834620.5 申請日 -
公開（公告）號 CN113285352A 公開（公告）日 2021-08-20
申請公布號 CN113285352A 申請公布日 2021-08-20
分類號 H01S5/183（2006.01）I;H01S5/028（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 吉祥;江藹庭;王青;趙風(fēng)春;王健軍 申請（專利權(quán)）人 華芯半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京清亦華知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 趙麗婷
地址 100020北京市朝陽區(qū)佳匯國際中心B座1107
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了具有分揀保護(hù)結(jié)構(gòu)的垂直腔面發(fā)射激光器。該垂直腔面發(fā)射激光器包括：襯底，所述襯底上設(shè)有發(fā)射腔柱體和外延結(jié)構(gòu)，所述發(fā)射腔柱體與所述外延結(jié)構(gòu)之間形成有刻蝕槽；分揀保護(hù)結(jié)構(gòu)，所述分揀保護(hù)結(jié)構(gòu)形成在所述外延結(jié)構(gòu)上，且高度高于所述發(fā)射腔柱體。該垂直腔面發(fā)射激光器的外延結(jié)構(gòu)上設(shè)有高于發(fā)射腔柱體的分揀保護(hù)結(jié)構(gòu)。由此，在分揀過程中，分選機(jī)臺吸嘴可以壓在該分揀保護(hù)結(jié)構(gòu)上，不會壓迫到發(fā)射腔柱體，從而避免發(fā)射腔柱體斷裂。另外，分揀保護(hù)結(jié)構(gòu)還可以避免分選機(jī)臺吸嘴與發(fā)射腔面接觸污染發(fā)射腔面。