一種單晶金剛石生長過程的監(jiān)測方法及監(jiān)測設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911302735.9 申請日 -
公開（公告）號 CN110823098A 公開（公告）日 2020-02-21
申請公布號 CN110823098A 申請公布日 2020-02-21
分類號 G01B11/00;G01B11/06;G01B11/24 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王壘;溫簡杰 申請（專利權）人 上海昌潤極銳超硬材料有限公司
代理機構 上海光華專利事務所（普通合伙） 代理人 上海昌潤極銳超硬材料有限公司
地址 201111 上海市閔行區(qū)陪昆路206號第18幢101室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種單晶金剛石生長過程的監(jiān)測方法及監(jiān)測設備。該監(jiān)測方法包括如下步驟：1)在單晶金剛石生長前，移動厚度監(jiān)測設備在單晶金剛石晶種表面進行光學厚度測量，獲得初始的單晶金剛石表面各檢測處對應的厚度和位置數(shù)據(jù)；2)在單晶金剛石生長過程中，移動厚度監(jiān)測設備在單晶金剛石表面進行光學厚度測量，獲得生長過程中單晶金剛石表面各檢測處對應的厚度和位置數(shù)據(jù)。該監(jiān)測設備包括厚度監(jiān)測設備；厚度監(jiān)測設備包括厚度監(jiān)測部件和物鏡；厚度監(jiān)測部件與物鏡及移動平臺連接，用于獲得單晶金剛石表面各檢測處對應的厚度和位置數(shù)據(jù)。該監(jiān)測方法及裝置可以實時監(jiān)測單晶金剛石厚度，一旦局部在高度上可觀測到明顯的變化，進而決定是否中斷生產(chǎn)。