一種基板臺、沉積部和微波等離子化學氣相沉積裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020865177.9 申請日 -
公開（公告）號 CN212316283U 公開（公告）日 2021-01-08
申請公布號 CN212316283U 申請公布日 2021-01-08
分類號 C30B25/00(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 王壘;溫簡杰 申請（專利權）人 上海昌潤極銳超硬材料有限公司
代理機構 上海光華專利事務所（普通合伙） 代理人 上海昌潤極銳超硬材料有限公司
地址 201111上海市閔行區(qū)陪昆路206號第18幢101室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供一種基板臺、沉積部和微波等離子化學氣相沉積裝置，該基板臺包括基板、兩個以上熱電偶、兩個以上加熱單元和控制單元；所述基板底部設有兩個以上凹槽，所述熱電偶和所述加熱單元設于所述凹槽內(nèi)；所述控制單元與所述熱電偶和所述加熱單元連通。本實用新型降低基板的溫差，使其更適合多晶或單晶的制備。??