一種雙層孔離子引出和加速裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911387938.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN111093312B 公開（公告）日 2021-11-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN111093312B 申請(qǐng)公布日 2021-11-16
分類號(hào) H05H1/24（2006.01）I;H05H1/54（2006.01）I 分類 其他類目不包含的電技術(shù);
發(fā)明人 楊溫淵;董燁;周前紅;董志偉 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京應(yīng)用物理與計(jì)算數(shù)學(xué)研究所
代理機(jī)構(gòu) 北京安度修典專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 楊方成
地址 100094北京市海淀區(qū)豐豪東路2號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種新型雙層孔離子引出和加速系統(tǒng)，該系統(tǒng)為圓柱狀結(jié)構(gòu)，包括陰極、第一陽(yáng)極和第二陽(yáng)極，整體系統(tǒng)沿圓柱中心軸為旋轉(zhuǎn)對(duì)稱結(jié)構(gòu)，陰極與第一陽(yáng)極之間通過(guò)第一絕緣介質(zhì)隔離，第一陽(yáng)極與第二陽(yáng)極之間通過(guò)第二絕緣介質(zhì)隔離；從系統(tǒng)的中心剖面來(lái)看，陰極圍成了等離子體區(qū)，等離子體區(qū)為矩形，陰極在靠近第一陽(yáng)極的邊界中心處設(shè)置有第一引出孔；第一陽(yáng)極的中心位置處設(shè)置有第二引出孔；第一陽(yáng)極和第二陽(yáng)極之間形成離子加速區(qū)，離子加速區(qū)為真空區(qū)；等離子體區(qū)的離子經(jīng)第一引出孔和第二引出孔引出，然后經(jīng)過(guò)離子加速區(qū)加速后打到第二陽(yáng)極上。本發(fā)明具有顯著提高離子源引出離子和到靶離子流強(qiáng)度以及改善到靶離子流時(shí)間波形的益處。