檢測激光加工質(zhì)量的光學(xué)檢測模塊和系統(tǒng)
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202011510455.X | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN112525922A | 公開（公告）日 | 2021-03-19 |
| 申請公布號 | CN112525922A | 申請公布日 | 2021-03-19 |
| 分類號 | G01N21/95(2006.01)I;G01N21/01(2006.01)I | 分類 | 測量；測試; |
| 發(fā)明人 | 劉文杰;周泉;李靜嫻 | 申請（專利權(quán)）人 | 廣州德擎光學(xué)科技有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 廣州藍晟專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 歐陽凱 |
| 地址 | 510290廣東省廣州市海珠區(qū)瀝滘振興大街10號自編15號樓C201單元 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種檢測激光加工質(zhì)量的光學(xué)檢測模塊和系統(tǒng)，該光學(xué)檢測模塊包括分光元件、減光片組、光電傳感器和一體成型的光學(xué)檢測模塊外殼；分光元件用于接收檢測光束，并將檢測光束分成至少兩個不同頻段的出射光光束；減光片組用于消減分光元件出射光的光強；光電傳感器用于接收減光片組出射光，并輸出進行光電轉(zhuǎn)換后的檢測電信號；分光元件、減光片組和光電傳感器依次排列且容置于光學(xué)檢測模塊外殼內(nèi)。本發(fā)明的光學(xué)檢測模塊外殼整個結(jié)構(gòu)底座一次加工成型后，內(nèi)置相關(guān)光學(xué)組件，最大程度的保證三路光學(xué)性能偏差的一致性，減少了光電傳感器因光路差異帶來的檢測運算誤差，提高了光學(xué)檢測模塊對入射光反應(yīng)外界激光加工面的檢測精度。?? |
