一種提升直拉工藝單晶硅生長速率及穩(wěn)定性的冷卻系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122093780.7 申請日 -
公開（公告）號 CN215856444U 公開（公告）日 2022-02-18
申請公布號 CN215856444U 申請公布日 2022-02-18
分類號 C30B15/00（2006.01）I;C30B15/20（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I;F25D15/00（2006.01）I;F25D17/02（2006.01）I;F25D29/00（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 何玉璽;王藝澄 申請（專利權(quán)）人 包頭美科硅能源有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京利豐知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 任立
地址 014010內(nèi)蒙古自治區(qū)包頭市昆都侖區(qū)金屬深加工園區(qū)拓業(yè)路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種提升直拉工藝單晶硅生長速率及穩(wěn)定性的冷卻系統(tǒng)，包括原水箱、純水箱、冷卻塔、冷水機(jī)及爐臺換熱器，原水箱通過過濾器及管路與純水箱的進(jìn)口端連接，純水箱的出口端通過泵及管路與冷卻塔的進(jìn)口端連接，冷卻塔的出口端通過泵、電磁三通換向閥及管路連接至冷水機(jī)，冷水機(jī)與冷卻塔之間還設(shè)有循環(huán)回水管路，冷卻塔的出口端通過電磁三通換向閥及管路還連接至爐臺換熱器，冷水機(jī)的出口端通過常開水閥及管路連接到爐臺換熱器，爐臺換熱器與冷水機(jī)之間也設(shè)有循環(huán)回水管路；該冷卻系統(tǒng)使得冷卻水溫度波動范圍得到控制，冷卻水溫度下限降低，提升了爐臺縱向溫度梯度，可有效在原有等徑拉速基礎(chǔ)上提高等徑拉速，也提高單晶硅產(chǎn)量。