一種直拉法單晶硅生產(chǎn)中的保溫裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202122496373.0 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN215856445U 公開(kāi)(公告)日 2022-02-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN215856445U 申請(qǐng)公布日 2022-02-18
分類號(hào) C30B15/00(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 李國(guó)明;王藝澄;王軍磊 申請(qǐng)(專利權(quán))人 包頭美科硅能源有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京利豐知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 代理人 周琪
地址 014010內(nèi)蒙古自治區(qū)包頭市昆都侖區(qū)金屬深加工園區(qū)拓業(yè)路1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種直拉法單晶硅生產(chǎn)中的保溫裝置,包括保溫筒主體(1),保溫筒主體(1)包括相互配合的外筒體(1a)和內(nèi)筒體(1b),外筒體(1a)套設(shè)在內(nèi)筒體(1b)的外部,且二者之間形成一個(gè)環(huán)形空腔(2),環(huán)形空腔(2)的底部連有一面相配合的環(huán)形底板(3),環(huán)形底板(3)上設(shè)有一組擋板排孔(4),每個(gè)擋板排孔(4)包括一組擋板孔(4a),每組擋板孔(4a)上對(duì)應(yīng)連接一個(gè)豎直的擋板(5),擋板(5)的寬度與環(huán)形空腔(2)的厚度相配合。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是能夠有效的對(duì)爐內(nèi)的溫度進(jìn)行保溫,并且能夠減小硅液中的溫度梯度,對(duì)單晶生長(zhǎng)營(yíng)造良好的生長(zhǎng)環(huán)境。