一種直拉法單晶爐中監(jiān)測(cè)并控制氬氣溫度的裝置及單晶爐
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202121966052.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN215856448U | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-02-18 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN215856448U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-02-18 |
| 分類號(hào) | C30B15/20（2006.01）I;C30B15/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I | 分類 | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 齊小方;薛逸文;王藝澄 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 包頭美科硅能源有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南京利豐知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 任立 |
| 地址 | 014010內(nèi)蒙古自治區(qū)包頭市昆都侖區(qū)金屬深加工園區(qū)拓業(yè)路1號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及一種直拉法單晶爐中監(jiān)測(cè)并控制氬氣溫度的裝置，包括氬氣加熱管，氬氣加熱管套設(shè)在單晶爐的氬氣進(jìn)氣管上，氬氣加熱管表面纏繞有加熱絲，加熱絲的一端通過(guò)導(dǎo)線連接在電源上，加熱絲與電源之間還設(shè)有過(guò)熱保護(hù)裝置，加熱絲的另一端通過(guò)導(dǎo)線與紅外測(cè)溫裝置的輸入端連接，紅外測(cè)溫裝置的信號(hào)輸出端連接有溫控表，溫控表通過(guò)導(dǎo)線與電源相連接，還涉及一種含有上述監(jiān)測(cè)并控制氬氣溫度裝置的單晶爐，該裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、精度高、穩(wěn)定性好，可實(shí)現(xiàn)對(duì)氬氣進(jìn)行加熱，監(jiān)測(cè)并精確控制加熱溫度，從而減小溫度不確定的氬氣對(duì)爐內(nèi)熱場(chǎng)的影響。 |
