一種顆粒硅直接用于CCZ直拉法制備單晶硅的裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121997451.9 申請日 -
公開（公告）號 CN215856443U 公開（公告）日 2022-02-18
申請公布號 CN215856443U 申請公布日 2022-02-18
分類號 C30B15/00（2006.01）I;C30B15/10（2006.01）I;C30B15/02（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 馬新星;王軍磊;王藝澄 申請（專利權(quán)）人 包頭美科硅能源有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京利豐知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 任立
地址 014010內(nèi)蒙古自治區(qū)包頭市昆都侖區(qū)金屬深加工園區(qū)拓業(yè)路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種顆粒硅直接用于CCZ直拉法制備單晶硅的裝置，包括單晶爐及顆粒硅加料裝置，單晶爐包括爐體，爐體中設(shè)石英坩堝，石英坩堝外設(shè)第一加熱器，石英坩堝上方設(shè)導(dǎo)流筒，爐體內(nèi)設(shè)保溫筒，保溫筒包括上保溫筒及下保溫筒，上保溫筒上設(shè)有石墨大蓋，導(dǎo)流筒裝配在石墨大蓋的通孔內(nèi)，導(dǎo)流筒內(nèi)設(shè)有水冷屏，下保溫筒下設(shè)護(hù)底壓板，爐體的底端設(shè)加熱電極，爐體內(nèi)還設(shè)有熔料坩堝、物料管道、第二加熱器及氣固旋風(fēng)分離器，顆粒硅加料裝置包括顆粒硅料筒、石英料管、進(jìn)氣口及出氣口，石英料管通過送料管道及閥門與氣固旋風(fēng)分離器連接；通過對正常單晶爐的簡單改造實(shí)現(xiàn)了顆粒硅在單晶硅行業(yè)中的直接加入使用，單晶硅的拉制成本降低，制備方法簡單易行。