一種外延片的存儲(chǔ)運(yùn)輸方法及裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111237173.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113675120B 公開(kāi)（公告）日 2022-02-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN113675120B 申請(qǐng)公布日 2022-02-08
分類(lèi)號(hào) H01L21/677（2006.01）I;B65H5/28（2006.01）I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 徐鵬飛;王文知;王巖;羅帥;季海銘 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 江蘇華興激光科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 江蘇長(zhǎng)德知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 詹朝
地址 221300江蘇省徐州市邳州經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)遼河西路北側(cè)、華山北路西側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域，公開(kāi)了一種外延片的存儲(chǔ)運(yùn)輸裝置，包括輸送機(jī)構(gòu)和存儲(chǔ)機(jī)構(gòu)，其中存儲(chǔ)機(jī)構(gòu)包括多個(gè)存儲(chǔ)單元，存儲(chǔ)單元與存儲(chǔ)單元之間通過(guò)連接帶連接構(gòu)成帶狀結(jié)構(gòu)，連接帶的材料為柔性材料，存儲(chǔ)單元包括存儲(chǔ)座，存儲(chǔ)座上設(shè)有存儲(chǔ)筒，存儲(chǔ)筒的頂部設(shè)有開(kāi)口，存儲(chǔ)筒的頂部開(kāi)口上設(shè)有用于控制開(kāi)口開(kāi)合的開(kāi)關(guān)單元，輸送機(jī)構(gòu)包括機(jī)架，機(jī)架上設(shè)有兩個(gè)對(duì)稱設(shè)置的鏈條，鏈條由多個(gè)鏈節(jié)連接構(gòu)成，相鄰的鏈節(jié)之間通過(guò)銷(xiāo)軸轉(zhuǎn)動(dòng)的連接，鏈節(jié)的鏈板上設(shè)有用于夾持存儲(chǔ)機(jī)構(gòu)的夾具；本發(fā)明通過(guò)存儲(chǔ)機(jī)構(gòu)有序的存儲(chǔ)外延片，有利于后續(xù)的加工。