一種半導(dǎo)體缺陷對(duì)熒光壽命影響的檢測(cè)裝置及檢測(cè)方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111251520.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113984727A 公開（公告）日 2022-01-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN113984727A 申請(qǐng)公布日 2022-01-28
分類號(hào) G01N21/64（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 王巖;徐鵬飛;羅帥;季海銘 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇華興激光科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 武漢江楚智匯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 矯婭琳
地址 221327江蘇省徐州市邳州經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)遼河西路北側(cè)、華山北路西側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體缺陷對(duì)熒光壽命影響的檢測(cè)裝置及檢測(cè)方法，檢測(cè)裝置的不同之處在于：其包括光發(fā)射系統(tǒng)、光分離收集系統(tǒng)和檢測(cè)系統(tǒng)；光發(fā)射系統(tǒng)包括能聚焦至半導(dǎo)體樣品表面同一位置的脈沖激光光源和連續(xù)激光光源，連續(xù)激光光源能聚焦至半導(dǎo)體樣品表面以使半導(dǎo)體樣品的缺陷電子態(tài)飽和，連續(xù)激光光源的光子能量可調(diào)且其光子能量與半導(dǎo)體樣品內(nèi)的任一深能級(jí)缺陷能級(jí)與價(jià)帶的能量間隔相同，脈沖激光光源能聚焦至半導(dǎo)體樣品表面以激發(fā)半導(dǎo)體樣品的光致發(fā)光；光分離收集系統(tǒng)用于分離并收集光致發(fā)光信號(hào)；檢測(cè)系統(tǒng)用于檢測(cè)光分離收集系統(tǒng)收集的光致發(fā)光信號(hào)的熒光壽命。本發(fā)明能有效檢測(cè)半導(dǎo)體缺陷對(duì)熒光壽命影響，使用方便。