一種半導(dǎo)體缺陷分布成像檢測(cè)裝置及檢測(cè)方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111237891.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113984787A 公開（公告）日 2022-01-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN113984787A 申請(qǐng)公布日 2022-01-28
分類號(hào) G01N21/95（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 王巖;徐鵬飛;羅帥;季海銘 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇華興激光科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 武漢江楚智匯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 矯婭琳
地址 221327江蘇省徐州市邳州經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)遼河西路北側(cè)、華山北路西側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體缺陷分布成像檢測(cè)裝置及檢測(cè)方法，其不同之處在于：檢測(cè)裝置包括電流電壓源、三維平移臺(tái)、連續(xù)激光光源、凸透鏡、分束鏡、濾光片和CCD相機(jī)；電流電壓源用于給半導(dǎo)體光電器件樣品施加正向電壓或正向電流，以使半導(dǎo)體光電器件樣品表面發(fā)出光信號(hào)；連續(xù)激光光源依次經(jīng)過透鏡和分束鏡后聚焦至半導(dǎo)體光電器件樣品表面，用于使半導(dǎo)體光電器件樣品內(nèi)的缺陷電子態(tài)飽和；三維平移臺(tái)用于調(diào)節(jié)半導(dǎo)體光電器件樣品的位置，使連續(xù)激光光源在半導(dǎo)體光電器件樣品表面進(jìn)行完整掃描；半導(dǎo)體光電器件樣品的光信號(hào)依次經(jīng)過分束鏡和濾光片后投射到CCD相機(jī)上。本發(fā)明能有效檢測(cè)半導(dǎo)體光電器件深能級(jí)缺陷的位置分布信息。