凸輪式盤狀物夾持裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210004761.5 申請日 -
公開（公告）號 CN102593033B 公開（公告）日 2014-11-19
申請公布號 CN102593033B 申請公布日 2014-11-19
分類號 H01L21/687(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 凱里·雷;賈星杰;吳儀;王波雷;張豹 申請（專利權(quán)）人 北京硅元科電微電子技術(shù)有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 北京路浩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;北京硅元科電微電子技術(shù)有限責(zé)任公司
地址 100016 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號M2號樓2層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及集成電路技術(shù)領(lǐng)域，具體公開了一種凸輪式盤狀物夾持裝置，包括：凸輪；卡盤，其下方中心與所述凸輪連接；夾持機(jī)構(gòu)，均設(shè)置在所述卡盤上，包括L型延長桿，所述延長桿一端伸入進(jìn)卡盤中并與凸輪圓周接觸，另一端朝向上方且安裝有用于夾持盤狀物的夾持件。本發(fā)明能夠方便快捷的實(shí)現(xiàn)對盤狀物的夾持，且本裝置結(jié)構(gòu)簡單、成本低廉、易于實(shí)現(xiàn)。