盤狀物固定裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201010231111.5 申請日 -
公開（公告）號 CN102097352B 公開（公告）日 2013-01-23
申請公布號 CN102097352B 申請公布日 2013-01-23
分類號 H01L21/687(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張豹;吳儀;張曉紅;韓麗娜 申請（專利權）人 北京硅元科電微電子技術有限責任公司
代理機構 北京路浩知識產權代理有限公司 代理人 北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司;北京硅元科電微電子技術有限責任公司
地址 100016 北京市朝陽區(qū)酒仙橋東路1號M2號樓2層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種盤狀物固定裝置，包括卡盤主體及與其連接并帶動盤狀物轉動的轉動軸；通過軸承安裝在卡盤主體上，并可與卡盤主體同軸轉動的凸輪；連接于凸輪與卡盤主體之間，使得凸輪能夠相對于卡盤主體轉動的至少一個拉伸彈簧；設置于卡盤主體邊緣的至少三個夾持元件；至少三個壓縮彈簧，其一端與卡盤主體連接，另一端設置于夾持元件朝向凸輪的一端，通過其彈性力將夾持元件朝向凸輪的一端頂在凸輪上，并且夾持元件的與凸輪的接觸端沿夾持元件與凸輪的接觸面滑動，使夾持元件卡緊盤狀物。本發(fā)明公開的盤狀物固定裝置結構簡單、容易實現，不會對盤狀物造成彎矩以及與夾持元件產生相對運動從而破壞盤狀物，且不限制機械手夾持該盤狀物的方式。