一種切削液自動配置供應裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201420491619.2 申請日 -
公開(公告)號 CN204149346U 公開(公告)日 2015-02-11
申請公布號 CN204149346U 申請公布日 2015-02-11
分類號 B28D7/02 分類 加工水泥、黏土或石料;
發(fā)明人 陳衛(wèi)群;寇文杰;楊波 申請(專利權)人 洛陽單晶硅集團有限責任公司
代理機構 洛陽明律專利代理事務所 代理人 盧洪方
地址 471000 河南省洛陽市高新技術產業(yè)開發(fā)區(qū)濱河北路99號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種切削液自動配置供應裝置,適用于半導體硅單晶切片設備在切片過程中產生大量熱量的冷卻和潤滑。本實用新型主要由切削液罐(1)、添加劑貯罐(10)、計量泵(11)、供應泵(12)、熱交換系統(tǒng)(13)、控制系統(tǒng)(14)構成。本實用新型在切削液罐(1)內裝有上液位傳感器(8)和下液位傳感器(9),當切削液罐(1)的液位到達下液位傳感器(9)時,計量泵(11)和電磁閥(6)自動啟動,將添加劑和純水按比例加入切削液罐(1)內,同樣當切削液罐(1)的液位到達上液位傳感器(8)時,計量泵(11)和電磁閥(6)自動關閉,實現(xiàn)切削液的自動配置和供應。本實用新型結構簡單,安全可靠,可穩(wěn)定持續(xù)向多臺內圓切片機提供具有冷卻、潤滑和助磨功能的切削液,有效提高了內圓刀片的使用壽命和切割硅片的產品質量。