一種箱式石英坩堝檢測裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201420491663.3 申請日 -
公開（公告）號 CN204151453U 公開（公告）日 2015-02-11
申請公布號 CN204151453U 申請公布日 2015-02-11
分類號 C30B15/26(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 王新 申請（專利權(quán)）人 洛陽單晶硅集團有限責(zé)任公司
代理機構(gòu) 洛陽明律專利代理事務(wù)所 代理人 洛陽單晶硅集團有限責(zé)任公司
地址 471000 河南省洛陽市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)濱河北路99號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種箱式石英坩堝檢測裝置，適用于硅單晶生產(chǎn)中對石英坩堝是否存在裂紋、氣泡、沾污、劃痕等缺陷的檢測。本實用新型所述的檢測裝置，主要是由箱體（1）、旋轉(zhuǎn)盤（2）、滾輪（3）、支撐架（4）、檢測燈（5）、防碰撞玻璃（6）、軸承（8）、不銹鋼圓柱（10）、保護套（11）構(gòu)成；其中兩個滾輪（3）通過支撐架（4）平行安裝固定在立方形狀的箱體（1）下底面上設(shè)置的旋轉(zhuǎn)盤（2）上，箱體（1）的后立面上裝有一個圓形檢測燈（5）。將石英坩堝（7）放置在兩個滾輪（3）上，打開檢測燈（5），用手轉(zhuǎn)動石英坩堝（7），這時滾輪（3）及旋轉(zhuǎn)盤（2）便隨著旋轉(zhuǎn)，便可檢測到石英坩堝（7）是否存在缺陷。本實用新型操作簡便，高純潔凈，安全可靠，有效的解決了現(xiàn)有檢測手段中所存在的不足。