一種常壓化學(xué)氣相沉積爐排氣罩除塵工具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201420491373.9 申請日 -
公開（公告）號 CN204148160U 公開（公告）日 2015-02-11
申請公布號 CN204148160U 申請公布日 2015-02-11
分類號 B08B1/00(2006.01)I;B08B5/04(2006.01)I;B08B7/04(2006.01)I;B08B15/04(2006.01)I 分類 清潔;
發(fā)明人 吳躍峰;苗立剛 申請（專利權(quán)）人 洛陽單晶硅集團有限責(zé)任公司
代理機構(gòu) 洛陽明律專利代理事務(wù)所 代理人 盧洪方
地址 471000 河南省洛陽市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)濱河北路99號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型所述的一種常壓化學(xué)氣相沉積爐排氣罩除塵工具，適用于在單晶硅硅片施加背風(fēng)片的工藝過程中清除沉積在排氣罩上的二氧化硅揮發(fā)物，所述的除塵工具主要由加長扁管（1）、毛刷頭（2）、刷毛（3）構(gòu)成。加長扁管（1）的管口呈矩形狀，毛刷頭（2）前端面設(shè)計成平面，側(cè)面設(shè)計成圓形弧度面并加工有開孔（4），開孔（4）上與毛刷頭（2）上粘接的刷毛（3）呈交叉排列。本實用新型可輕松刷掉排氣罩深處及弧度處的沉積物，同時由于毛刷頭（2）與加長扁管（1）的吸頭（6）組合成一體，使得刷掉的沉積物可立刻被吸走，避免了微小顆粒污染環(huán)境。