一種氨水溶液自動配置供應裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201420491657.8 申請日 -
公開（公告）號 CN204147826U 公開（公告）日 2015-02-11
申請公布號 CN204147826U 申請公布日 2015-02-11
分類號 B01F15/04(2006.01)I;B01F15/02(2006.01)I;B08B3/08(2006.01)I 分類 一般的物理或化學的方法或裝置;
發(fā)明人 熊誠雷;魏海霞 申請（專利權）人 洛陽單晶硅集團有限責任公司
代理機構 洛陽明律專利代理事務所 代理人 洛陽單晶硅集團有限責任公司
地址 471000 河南省洛陽市高新技術產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)濱河北路99號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種氨水溶液自動配置供應裝置，適用于擦片清洗機去除單晶硅拋光片表面污染物。本實用新型主要由原液罐（1）、配置罐（6）、計量泵（12）、氮氣供應管路（19）、氮氣平衡管路（31）、純水管路（20）、氨水溶液供應管（27）、控制柜（30）構成；配置氨水溶液時，控制柜（30）觸發(fā)計量泵（12）工作和打開純水供應電磁閥（23），濃氨水被計量泵（12）從原液罐（1）打入配置罐（6）與純水按比例混合稀釋，氮氣通入原液罐（1）和配置罐（6）產(chǎn)生足夠的壓力保證氨水溶液從擦片清洗機噴嘴呈扇形噴出。本實用新型安裝簡單，占地空間小，操作方便，可自動連續(xù)配置供應氨水溶液，顯著降低了勞動強度，明顯提高了工作效率。