離線式玻璃基板傳送裝置和玻璃基板缺陷檢測裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710447946.6 申請日 -
公開（公告）號 CN107064175B 公開（公告）日 2019-11-01
申請公布號 CN107064175B 申請公布日 2019-11-01
分類號 G01N21/958（2006.01）I; B65G49/06（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 劉福濤; 鄭權; 胡恒廣; 王麗紅; 嚴永海 申請（專利權）人 福州東旭光電科技有限公司
代理機構 北京英創(chuàng)嘉友知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 陳慶超;桑傳標
地址 350000 福建省福州市保稅港區(qū)加工貿(mào)易區(qū)監(jiān)管大樓109室072區(qū)間(福清市新厝鎮(zhèn)新江路9號)(自貿(mào)試驗區(qū)內(nèi))
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開涉及一種離線式玻璃基板傳送裝置和玻璃基板缺陷檢測裝置，該傳送裝置包括機架組件、安裝到機架組件上的頂升組件、氣浮組件、定位組件和驅(qū)動組件，氣浮組件用于氣浮玻璃基板，頂升組件可沿豎直方向升降以具有伸出位置和收納位置，在伸出位置，頂升組件在豎直方向凸出于氣浮組件以承接或承送玻璃基板，在收納位置，頂升組件在豎直方向不凸出于氣浮組件以由氣浮組件浮起玻璃基板，定位組件在傳送玻璃基板前將玻璃基板定位在氣浮組件上，驅(qū)動組件夾緊并驅(qū)動定位后的玻璃基板沿氣浮組件的長度方向往復移動。因此，有效避免滾輪傳送對玻璃基板邊部質(zhì)量的影響，減少缺陷的產(chǎn)生，實現(xiàn)高精度傳送，結(jié)合檢測單元能實現(xiàn)玻璃基板高精度定位和檢測。