一種高精度薄膜端導(dǎo)濺射治具
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202022669922.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN213803966U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-07-27 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213803966U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-07-27 |
| 分類(lèi)號(hào) | C23C14/34（2006.01） | 分類(lèi) | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 薛靜蓉;楊路華;王永生;岳晴瑞;李萌;郭菊芳;鄒鳳譽(yù);高思靜;李歲萌;王麗莎;劉利;王衛(wèi)東 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 陜西華經(jīng)微電子股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 西安文盛專(zhuān)利代理有限公司 | 代理人 | 佘文英 |
| 地址 | 710065 陜西省西安市電子西街3號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種高精度薄膜端導(dǎo)濺射治具，包括上蓋板鋼模板和下蓋板鋼模板，上蓋板鋼模板和下蓋板鋼模板的開(kāi)口尺寸與濺射圖形尺寸保持一致；將上蓋板鋼模板、下蓋板鋼模板與上蓋板主體、下蓋板主體點(diǎn)焊在一起形成濺射治具上蓋板和下蓋板；上蓋板和下蓋板緊挨濺射產(chǎn)品處左右兩側(cè)分別設(shè)計(jì)兩道凹槽，使上蓋板和下蓋板與濺射產(chǎn)品側(cè)面緊密接觸，提高濺射圖形尺寸精度。本實(shí)用新型通過(guò)對(duì)公差的精密設(shè)計(jì)要求，達(dá)到了能夠雙面濺射的效果，提高了濺射效率。 |
