再利用硅片的制絨方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410024937.2 申請日 -
公開（公告）號 CN103730347B 公開（公告）日 2017-01-25
申請公布號 CN103730347B 申請公布日 2017-01-25
分類號 H01L21/306(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 符昌京;許明金;方菊英;王家道;王川;聶文廣;王慶森;曾德棟;邱維運 申請（專利權(quán)）人 海南英利新能源有限公司
代理機構(gòu) 北京康信知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 代理人 海南英利新能源有限公司
地址 海南省海口市國家高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)獅子嶺工業(yè)園區(qū)光伏南路9號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種再利用硅片的制絨方法，包括以下步驟：步驟S10：將制絨設(shè)備或濕法刻蝕設(shè)備的工藝槽的頂槽內(nèi)的藥液排空；步驟S20：使再利用硅片經(jīng)過工藝槽的頂槽后進入堿洗槽進行堿洗；步驟S30：使堿洗后的再利用硅片進入酸槽。本發(fā)明的技術(shù)方案有效地解決了現(xiàn)有技術(shù)中再利用硅片易出現(xiàn)亮片以及變薄的問題。