微通道板電性能動(dòng)態(tài)測(cè)試臺(tái)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200920190685.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN201477165U 公開(kāi)（公告）日 2010-05-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN201477165U 申請(qǐng)公布日 2010-05-19
分類號(hào) G01R31/00(2006.01)I;G01R31/28(2006.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 陳楠 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 杭州千盟光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州天欣專利事務(wù)所 代理人 杭州千盟光電科技有限公司
地址 311400 浙江省富陽(yáng)市富春街道秋豐村孫家壟80號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型包括工作臺(tái)，其特征在于：在所述的安裝臺(tái)上安裝有觀察系統(tǒng)、真空工作室、電子發(fā)射系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、人機(jī)界面系統(tǒng)、電性能參數(shù)獲取系統(tǒng)、真空控制系統(tǒng)、工轉(zhuǎn)系統(tǒng)和電源系統(tǒng)；所述的電源系統(tǒng)分別與真空系統(tǒng)、真空控制系統(tǒng)、電子發(fā)射系統(tǒng)、電性能參數(shù)獲取系統(tǒng)和人機(jī)界面連接；所述的真空室與真空系統(tǒng)連接，其下部安裝有工轉(zhuǎn)系統(tǒng)；所述的電子發(fā)射系統(tǒng)與真空工作室相通；所述的觀察系統(tǒng)位于真空工作室的上方。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，功能實(shí)用，觀測(cè)準(zhǔn)確。