一種氦氣回收裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022399018.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN213492874U 公開(kāi)(公告)日 2021-06-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN213492874U 申請(qǐng)公布日 2021-06-22
分類號(hào) B01D53/047(2006.01)I;B01D53/22(2006.01)I;B01D46/00(2006.01)I;C01B23/00(2006.01)I 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 郗春滿;陸璐;李輝;卞華君;朱鳳瞻 申請(qǐng)(專利權(quán))人 蘇州蘇凈保護(hù)氣氛有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 周敏
地址 215002江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)唯新路2號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種氦氣回收裝置,包括箱體,用于與進(jìn)氣管連接對(duì)原料氣體進(jìn)行過(guò)濾的過(guò)濾系統(tǒng),用于對(duì)過(guò)濾后的原料氣體進(jìn)行加熱的加熱系統(tǒng),用于對(duì)加熱后的原料氣體進(jìn)行分離的膜分離系統(tǒng),和控制系統(tǒng);過(guò)濾系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)和膜分離系統(tǒng)通過(guò)管路連接并安裝在箱體內(nèi)。本發(fā)明采用箱體式設(shè)計(jì),占地面積小,運(yùn)行成本低;控制系統(tǒng)自動(dòng)控制,操作極為簡(jiǎn)單;沒(méi)有運(yùn)動(dòng)部件,故障率低,運(yùn)行可靠性高;通過(guò)控制系統(tǒng)檢測(cè)管路中氦氣濃度,保證了回收的氦氣的純度、流量和壓力的穩(wěn)定性。