一種具有散熱功能的濺鍍載具

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020798533.X 申請日 -
公開（公告）號 CN212357377U 公開（公告）日 2021-01-15
申請公布號 CN212357377U 申請公布日 2021-01-15
分類號 C23C14/50(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 劉淮健 申請（專利權(quán)）人 江蘇栢煜包裝材料科技有限公司
代理機構(gòu) 北京化育知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 閆露露
地址 215000江蘇省蘇州市蘇州工業(yè)園區(qū)唯亭金陵東路228號廠房1棟1層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種具有散熱功能的濺鍍載具，屬于金屬高分子基材處理領(lǐng)域，一種具有散熱功能的濺鍍載具，包括濺鍍載具和冷卻劑供應(yīng)源，所述濺鍍載具的外側(cè)設(shè)有矩形框架，所述矩形框架正面和左側(cè)的內(nèi)部均開設(shè)有分流管，所述矩形框架背面和右側(cè)的內(nèi)部均開設(shè)有匯流管，所述矩形框架的中部連接有冷卻管路，冷卻劑在冷卻管路內(nèi)部流動的同時會帶走濺鍍載具以及頂部基板的熱量，能很好的對基板進行降溫，能很好的降低濺鍍時濺鍍載具的溫度，使濺鍍載具的溫度維持于基本受熱的安全值內(nèi)部，省去將濺鍍載具進行靜置冷卻的程序，且不需要準(zhǔn)備多個供替換的濺鍍載具，能使濺鍍工藝更加簡便，且省去了準(zhǔn)備大量替換濺鍍載具耗費的成本。??