一種直寫式光刻機的電控裝置及直寫式光刻機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201620920021.X 申請日 -
公開（公告）號 CN206057793U 公開（公告）日 2017-03-29
申請公布號 CN206057793U 申請公布日 2017-03-29
分類號 G03F7/20(2006.01)I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 王新旺;劉濤;楊振玲 申請（專利權(quán)）人 天津芯碩精密機械有限公司
代理機構(gòu) 北京超凡志成知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 天津芯碩精密機械有限公司
地址 300457 天津市濱海新區(qū)開發(fā)區(qū)黃海路167號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及直寫式光刻機設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種直寫式光刻機的電控裝置及直寫式光刻機。其中，直寫式光刻機的電控裝置包括上位機、通信控制器件、激光器控制器件、聚焦控制器件、外圍控制器件和溫濕度監(jiān)測器件；通信控制器件的一端與所述上位機電連接，另一端分別與激光器控制器件、聚焦控制器件、外圍控制器件以及溫濕度監(jiān)測器件的輸入端電連接；激光器控制器件的輸出端與激光器電連接；聚焦控制器件的輸出端與聚焦電機電連接；外圍控制器件的輸出端與外圍設(shè)備電連接。直寫式光刻機包括上述直寫式光刻機的電控裝置。本實用新型提供的直寫式光刻機的電控裝置及直寫式光刻機，擺脫了上位機直接控制下位機的情況，接口連接穩(wěn)定可靠。