一種單射頻加雙燈管臭氧濃度發(fā)生器
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201922029732.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN210765584U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-06-16 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN210765584U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-06-16 |
| 分類號(hào) | C30B33/00(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 周智波 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 湖北天合光能有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京天奇智新知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 楊文錄 |
| 地址 | 433000湖北省仙桃市桃花嶺大道中段28號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)的屬于晶體硅太陽(yáng)能電池清洗設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域的一種單射頻加雙燈管臭氧濃度發(fā)生器，包括裝置箱、氧氣發(fā)生器、雙燈管臭氧發(fā)生器、射頻臭氧發(fā)生器和氮?dú)獍l(fā)生器，裝置箱的內(nèi)底壁螺接有氧氣發(fā)生器，氧氣發(fā)生器的出氣口與輸氧管管組的進(jìn)氣側(cè)連接，輸氧管管組的出氣側(cè)分別與雙燈管臭氧發(fā)生器和射頻臭氧發(fā)生器的進(jìn)氣口固定連接，雙燈管臭氧發(fā)生器和射頻臭氧發(fā)生器底部的臭氧輸出口均與臭氧管管組的進(jìn)氣側(cè)固定連接，臭氧管管組的出氣側(cè)與臭氧噴淋板連接，裝置箱的頂壁螺接有氮?dú)獍l(fā)生器，氮?dú)獍l(fā)生器的出氣口與氮?dú)夤艿倪M(jìn)氣側(cè)連接，氮?dú)夤艿牧硪欢伺c臭氧管管組連接，本裝置結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)科學(xué)合理，確保硅片表面能形成一層均勻致密的氧化層(SiO2層)。?? |
