適用于壓接式功率半導(dǎo)體器件的測試裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111415479.1 申請日 -
公開（公告）號 CN114035017A 公開（公告）日 2022-02-11
申請公布號 CN114035017A 申請公布日 2022-02-11
分類號 G01R31/26（2014.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 孫元鵬;張文亮;宋志威;張軍輝 申請（專利權(quán)）人 山東閱芯電子科技有限公司
代理機構(gòu) 蘇州國誠專利代理有限公司 代理人 韓鳳
地址 264300山東省威海市榮成市嶗山南路788號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種適用于壓接式功率半導(dǎo)體器件的測試裝置。其包括測試架體、器件測試抽屜組、壓力測量裝置以及測試升降驅(qū)動機構(gòu)；通過測試升降驅(qū)動機構(gòu)使得器件測試抽屜組內(nèi)所有相鄰的器件測試抽屜相互接觸配合，對任意兩個相互接觸配合的器件測試抽屜，位于上方器件測試抽屜內(nèi)的待測IGBT器件的上側(cè)面與所在器件測試抽屜內(nèi)的抽屜內(nèi)加熱器緊密接觸，位于上方器件測試抽屜內(nèi)的待測IGBT器件的下側(cè)面與下方器件測試抽屜內(nèi)的抽屜內(nèi)加熱器對應(yīng)，以利用與待測IGBT器件兩側(cè)面正對應(yīng)的抽屜內(nèi)加熱器對所述待測IGBT器件加熱至所需的測試溫度并同時提供所需的接觸測試壓力。本發(fā)明能有效實現(xiàn)對壓接式IGBT器件測試，提高測試效率以及自動化程度，安全可靠。