一種大尺寸硅邊緣拋光液及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210281713.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN114605923A 公開(kāi)（公告）日 2022-06-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN114605923A 申請(qǐng)公布日 2022-06-10
分類號(hào) C09G1/02（2006.01）I;C09K3/14（2006.01）I;C01B33/18（2006.01）I;B24B1/04（2006.01）I;B24B1/00（2006.01）I 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹(shù)脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 潘國(guó)順;陳高攀;潘立焱;羅海梅;周艷;羅桂海;張楚紅 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳清華大學(xué)研究院
代理機(jī)構(gòu) 深圳市壹壹壹知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 -
地址 518000廣東省深圳市南山區(qū)粵海街道高新技術(shù)工業(yè)村
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種大尺寸硅邊緣拋光液及其制備方法，所述拋光液包括非球形介孔氧化硅顆粒及拋光助劑。所述的制備方法以活性硅酸為原料制備晶核，在晶核制備過(guò)程中添加粘結(jié)劑，改變晶核顆粒表面基團(tuán)結(jié)溝、影響晶核顆粒表面電荷分布、壓縮晶核顆粒的雙電層厚度，生成非球形晶核結(jié)構(gòu)。在顆粒生長(zhǎng)中過(guò)程中添加模板劑，各種形狀晶核結(jié)構(gòu)各向同性生長(zhǎng)，從而獲得相應(yīng)形狀的氧化硅顆粒。對(duì)獲得的氧化硅顆粒進(jìn)行去模板操作，制備出非球形介孔氧化硅顆粒。將制備顆粒及拋光助劑按一定比例分別加入去離子水中配制適用于大尺寸硅邊緣拋光的拋光液。與傳統(tǒng)硅邊緣拋光液相比，本發(fā)明可有效地提高材料去除率，并降低拋光后硅邊緣表面粗糙度。