一種半導(dǎo)體晶圓插針全自動(dòng)打磨設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110139479.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112828729A 公開（公告）日 2021-05-25
申請(qǐng)公布號(hào) CN112828729A 申請(qǐng)公布日 2021-05-25
分類號(hào) B24B19/16;B24B41/00;B24B41/06;B24B47/12;B24B47/20;B24B47/22 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 陳宇;朱超群;姚金才 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳愛仕特科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳眾邦專利代理有限公司 代理人 譚麗莎
地址 518000 廣東省深圳市坪山區(qū)龍?zhí)锝值乐窨由鐓^(qū)懷德南路南側(cè)華意隆坪山工業(yè)廠區(qū)1號(hào)辦公樓201
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體晶圓插針全自動(dòng)打磨設(shè)備，包括工作臺(tái)，所述工作臺(tái)上分別設(shè)置轉(zhuǎn)盤組件、上料裝置、第一頂升裝置、第二頂升裝置、第一打磨裝置、第二打磨裝置、第一翻轉(zhuǎn)裝置、第三打磨裝置、第二翻轉(zhuǎn)裝置、第四打磨裝置和下料裝置，所述轉(zhuǎn)盤組件設(shè)置于所述工作臺(tái)中部，所述上料裝置設(shè)置于所述工作臺(tái)右側(cè)，所述上料裝置輸出端、第一頂升裝置、第二頂升裝置、第一打磨裝置、第二打磨裝置、第一翻轉(zhuǎn)裝置、第三打磨裝置、第二翻轉(zhuǎn)裝置、第四打磨裝置和下料裝置均設(shè)置于所述工作臺(tái)上且按順時(shí)針方向依次設(shè)置于所述轉(zhuǎn)盤組件周邊，減少人工勞動(dòng)力，提高產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率，成本低，具有良好的市場應(yīng)用價(jià)值。