具有翻轉芯片功能的芯片吸取裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201020615439.2 申請日 -
公開（公告）號 CN201887034U 公開（公告）日 2011-06-29
申請公布號 CN201887034U 申請公布日 2011-06-29
分類號 H01L21/683(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 尹周平;蔡偉林;付宇;王瑜輝;熊有倫 申請（專利權）人 華工制造裝備數(shù)字化國家工程中心有限公司
代理機構 華中科技大學專利中心 代理人 李智
地址 430074 湖北省武漢市洪山區(qū)珞喻路1037號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種具有翻轉芯片功能的芯片吸取裝置，包括Z向高度調節(jié)與支撐機構、翻轉驅動機構、芯片吸取機構，Z向高度調節(jié)與支撐機構將芯片吸取機構移動到適宜高度，翻轉驅動機構驅動芯片吸取機構旋轉，芯片吸取機構包括直線導向運動部件和芯片吸取元件，直線導向運動部件內設有直線軸承和彈簧，直線導向軸從上往下穿過直線軸承和彈簧，其端部連接芯片吸取元件，由于彈簧的緩沖作用，芯片吸取元件將芯片吸住后跟隨芯片上升一定的高度，再在翻轉驅動機構的作用下旋轉到達芯片供給位置。本實用新型一方面避免了非接觸式吸取的不可靠性，另一方面也避免了剛性接觸式吸取時芯片因受力過大而損傷，實現(xiàn)了芯片的可靠與無損傷吸取和翻轉。