LED晶圓擴(kuò)張翻邊裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911347277.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN110993554A 公開（公告）日 2020-04-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN110993554A 申請(qǐng)公布日 2020-04-10
分類號(hào) H01L21/683;H01L33/48 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 狄建科;秦松;劉雪;胡斌 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州展德自動(dòng)化設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 江蘇圣典律師事務(wù)所 代理人 王玉國
地址 215021 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)杏林街98號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及LED晶圓擴(kuò)張翻邊裝置，包括直線驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)以及連接于其上的晶圓擴(kuò)張機(jī)構(gòu)，晶圓擴(kuò)張機(jī)構(gòu)包含連接固定板和支撐架，支撐架上固定一底板，底板上豎立安裝有導(dǎo)向柱，中部安裝有絲杠支座，絲杠支撐于絲杠支座上，升降板套置于導(dǎo)向柱上，升降板的中部安裝有與絲杠相旋配的螺母，升降板上固定一支撐柱，支撐柱的頂端連接固定盤，固定盤上開設(shè)有容納槽，加熱盤置于容納槽內(nèi)，固定盤的邊緣部設(shè)有環(huán)形凹槽，膜片撐環(huán)嵌入環(huán)形凹槽中，固定盤上安裝擴(kuò)晶盤，擴(kuò)晶盤的外緣設(shè)有用于容納內(nèi)環(huán)的限位臺(tái)階部，導(dǎo)向柱的頂端安裝有擴(kuò)晶載板，其上安裝有旋轉(zhuǎn)壓緊機(jī)構(gòu)。自動(dòng)化實(shí)現(xiàn)擴(kuò)晶后翻邊，使擴(kuò)晶后的膜片長時(shí)間保持張力不變，擴(kuò)晶效率高，效果好。