一種防止邊角張網(wǎng)形變的金屬掩膜版

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121773797.0 申請日 -
公開（公告）號 CN215593169U 公開（公告）日 2022-01-21
申請公布號 CN215593169U 申請公布日 2022-01-21
分類號 C23C14/04（2006.01）I;C23C14/24（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 錢超;張蔡星;李成林;楊波 申請（專利權）人 南京高光半導體材料有限公司
代理機構 南京鐘山專利代理有限公司 代理人 王磊
地址 210033江蘇省南京市南京經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)紅楓科技園A7-17
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種防止邊角張網(wǎng)形變的金屬掩膜版，包括掩膜版本體以及掩膜版本體上的掩膜圖案，所述掩膜版本體在正負X/Y四個方向都設有向內(nèi)的形變預留量，所述形變預留量包括均一段和兩個非均一段，兩個所述非均一段關于所述均一段對稱且位于所述均一段的兩側，所述掩膜版本體整體結構關于中心對稱，本實用新型將掩膜版本體改進為形變預留量分段設計，中間位置使用較大形變預留量，然后形變預留量從中間位置向邊角逐漸減小，如此可在保證網(wǎng)面整體下垂量的前提下，將角落位置的張網(wǎng)拉力降低，有效避免因邊角拉力過大而產(chǎn)生的網(wǎng)面形變問題。