一種氬氣凈化與回收方法及系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010424997.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN111634896A 公開(kāi)(公告)日 2020-09-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN111634896A 申請(qǐng)公布日 2020-09-08
分類號(hào) C01B23/00(2006.01)I 分類 無(wú)機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 李世剛;蔣化;王艷婷;沈紅寶 申請(qǐng)(專利權(quán))人 北京北大先鋒科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京萬(wàn)象新悅知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 黃鳳茹
地址 100080北京市海淀區(qū)中關(guān)村北大街151號(hào)燕園資源大廈401
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公布了一種氬氣凈化與回收方法及系統(tǒng),依次包括:第一段變溫吸附裝置TSA1,換熱器,欠氧催化塔,加熱器,循環(huán)氧化塔,第二段變溫吸附裝置TSA2,脫氮裝置VPSA,真空泵;各個(gè)構(gòu)件通過(guò)管路及閥門組件相連接。將氬氣中含有的烴類物質(zhì)分開(kāi)進(jìn)行處理,且采用兩段燃燒方法,先使用第一段變溫吸附裝置TSA1首先脫除難燃燒的烴類物質(zhì),再通過(guò)低溫催化的方式燃燒吸附量小易燃燒的烴類物質(zhì),使得系統(tǒng)熱量充分利用,運(yùn)行費(fèi)用低,氬氣的回收率高。??