一種具旋轉(zhuǎn)艙體的封閉靶倉

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110266009.7 申請日 -
公開（公告）號 CN113061856A 公開（公告）日 2021-07-02
申請公布號 CN113061856A 申請公布日 2021-07-02
分類號 C23C14/35 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 戰(zhàn)永剛;戰(zhàn)捷;馮紅濤;周林;尹強(qiáng) 申請（專利權(quán)）人 深圳市三束鍍膜技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市中科創(chuàng)為專利代理有限公司 代理人 劉曰瑩;袁曼曼
地址 518000 廣東省深圳市龍華區(qū)福城街道福民社區(qū)核電工業(yè)園5號101
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種具旋轉(zhuǎn)艙體的封閉靶倉，包括艙體和濺射靶，所述濺射靶設(shè)于所述艙體的腔體內(nèi)；所述艙體外還設(shè)有：門框、艙門、第一驅(qū)動裝置和第二驅(qū)動裝置，所述艙體上設(shè)有開口，所述門框設(shè)于所述開口上，所述第二驅(qū)動裝置驅(qū)動所述艙門運(yùn)動，以與門框相配合實(shí)現(xiàn)對所述艙體的關(guān)閉與打開；所述艙門與所述門框相對接時(shí)，所述艙體形成一密閉容器；所述第一驅(qū)動裝置驅(qū)動所述艙體旋轉(zhuǎn)。本發(fā)明對濺射靶實(shí)現(xiàn)真空密封的同時(shí)，減小了靶倉開關(guān)所占用的空間，節(jié)省了鍍膜機(jī)內(nèi)的空間，且通過第二驅(qū)動裝置驅(qū)動艙門前推和后拉實(shí)現(xiàn)關(guān)閉和打開，艙門關(guān)閉后由第二驅(qū)動裝置持續(xù)前推的動作實(shí)現(xiàn)鎖緊，無需再額外設(shè)置鎖緊機(jī)構(gòu)進(jìn)行鎖緊，簡化了設(shè)備，操作更加簡單便捷。