一種硅棒外形檢測(cè)機(jī)構(gòu)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021233619.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN212227982U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-12-25 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212227982U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-12-25 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01B11/02(2006.01)I | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 朱佰慶;李璐;王鵬;仇健;張毅 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 長(zhǎng)治高測(cè)新材料科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京卓嵐智財(cái)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 長(zhǎng)治高測(cè)新材料科技有限公司 |
| 地址 | 046000山西省長(zhǎng)治市潞州區(qū)黃碾鎮(zhèn)西旺村 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型屬于硅棒檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種硅棒外形檢測(cè)機(jī)構(gòu)，包括底座總成，沿底座總成長(zhǎng)度方向的兩端均設(shè)有側(cè)面視覺(jué)組件。所述底座總成長(zhǎng)度方向的兩側(cè)設(shè)有端面移動(dòng)視覺(jué)組件和端面固定視覺(jué)組件，所述端面移動(dòng)視覺(jué)組件旁設(shè)有端面移動(dòng)傳感器組件，所述端面固定視覺(jué)組件和底座總成之間設(shè)有端面固定傳感器組件。本實(shí)用新型通過(guò)高精度位移傳感器結(jié)合視覺(jué)系統(tǒng)對(duì)硅棒表面質(zhì)量和幾何參數(shù)進(jìn)行視覺(jué)檢測(cè)的自動(dòng)化裝置，能夠準(zhǔn)確快速完成硅棒表面質(zhì)量檢測(cè)工作。?? |
