動量空間光學相位測量系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911017799.4 申請日 -
公開（公告）號 CN110631994B 公開（公告）日 2022-03-11
申請公布號 CN110631994B 申請公布日 2022-03-11
分類號 G01N21/17（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 張譯文;石磊;資劍;殷?，|;胡松婷 申請（專利權）人 上海復享光學股份有限公司
代理機構 上海唯源專利代理有限公司 代理人 宋小光
地址 200433上海市楊浦區(qū)國定東路200號4號樓412-1室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種動量空間光學相位測量系統(tǒng)，包括：物鏡，置于待測樣品的后方；第一分束器，置于物鏡的后方；兩個透鏡，以一定間距置于第一分束器的后方；光電探測設備，置于的兩個透鏡的后方；以及光束發(fā)射裝置，用于形成光束；其中，光束被分成射向待測樣品的第一路光束和射向第一分束器的第二路光束；第一路光束經過待測樣品和物鏡而進入第一分束器并與第二路光束合束形成匯合光束，匯合光束依次通過的兩個透鏡并射入光電探測設備。本發(fā)明采用光束分成經過樣品和不經過樣品的兩路光束傳播，而后在樣品的動量空間中重新疊加，進而利用光學探測設備測量疊加信號的強度，從中提取出樣品在動量空間中的光學相位響應信息。