一種波片檢測(cè)裝置及方法
基本信息

| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201610029435.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(公告)號(hào) | CN105628343B | 公開(公告)日 | 2018-06-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN105628343B | 申請(qǐng)公布日 | 2018-06-01 |
| 分類號(hào) | G01M11/02 | 分類 | 測(cè)量;測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 劉世元;張傳維;谷洪剛 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人 | 武漢光電工業(yè)技術(shù)研究院有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 430075 湖北省武漢市東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)高新大道999號(hào)未來科技城海外人才大樓B4座6樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要

| 摘要 | 本發(fā)明公開了波片檢測(cè)裝置,該裝置包括光源、起偏臂、用于放置待檢測(cè)波片的樣品臺(tái)、檢偏臂和探測(cè)器;所述起偏臂、待檢測(cè)波片和檢偏臂的中心在同一條直線上,光源發(fā)出的光經(jīng)過起偏臂起偏和調(diào)制后得到調(diào)制偏振光,調(diào)制偏振光經(jīng)過待檢測(cè)波片耦合波片的信息后經(jīng)檢偏臂后調(diào)制和檢偏,最后被探測(cè)器接收。本發(fā)明利用穆勒矩陣建立波片特征參數(shù)與穆勒矩陣元素之間的關(guān)系,采用穆勒矩陣橢偏儀測(cè)量待檢測(cè)波片的穆勒矩陣光譜數(shù)據(jù),進(jìn)一步獲得待檢測(cè)波片的特征參數(shù)光譜數(shù)據(jù)。本發(fā)明能夠在一次測(cè)量中獲得任意波片的所有特征參數(shù)光譜數(shù)據(jù),包括相位延遲量、快軸方位角、旋光角、快慢軸透過率幅值比角、退偏指數(shù)。 |





