用于確定集成電路器件的尺寸的方法和設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710461390.6 申請日 -
公開（公告）號 CN109148433B 公開（公告）日 2021-06-04
申請公布號 CN109148433B 申請公布日 2021-06-04
分類號 H01L27/02 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張曉琳;符祖標;施耀明;徐益平 申請（專利權）人 睿勵科學儀器（上海）有限公司
代理機構 北京市金杜律師事務所 代理人 鄭立柱
地址 201203 上海市浦東新區(qū)華佗路68號張江創(chuàng)業(yè)園6幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 為了自動、準確、大批量地表征集成電路器件，本公開提供用于確定集成電路器件的尺寸的方法和設備。該方法包括提供集成電路器件的模板圖像，模板圖像包括指示模板圖像中的位置及待測尺寸的測量工具。該方法還包括基于模板圖像和集成電路器件的包括目標結構的待測圖像，確定待測圖像中的目標結構的位置。此外，該方法包括基于測量工具和待測圖像中的目標結構的位置，確定目標結構的尺寸。本公開的實施例可以自動、準確、大批量地測量集成電路器件的尺寸。