一種測量MOCVD行星式托盤衛(wèi)星盤轉(zhuǎn)速方法及裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110775866.X 申請日 -
公開（公告）號 CN113533770A 公開（公告）日 2021-10-22
申請公布號 CN113533770A 申請公布日 2021-10-22
分類號 G01P3/36;C23C16/52 分類 測量；測試;
發(fā)明人 黃文勇;馬鐵中;顏華;倪旭東 申請（專利權(quán)）人 南昌昂坤半導體設備有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 330096 江西省南昌市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)艾溪湖北路688號中興科技園8號廠房一層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種測量MOCVD行星式托盤衛(wèi)星盤轉(zhuǎn)速方法及裝置，通過MOCVD設備上的激光測量探頭并發(fā)出一束激光；該激光照射到MOCVD設備的行星式托盤上，隨著行星式托盤旋轉(zhuǎn)，也會照射到衛(wèi)星盤上以及衛(wèi)星盤上的晶圓片；反射回的激光經(jīng)分光后轉(zhuǎn)換成電信號；對電信號在2個trigger脈沖信號的時間內(nèi)以固定頻率f采樣，得出每次采樣行星式托盤轉(zhuǎn)過的角度Δα；根據(jù)角度Δα，計算晶圓片邊緣進入和處測量點時的自轉(zhuǎn)角度值ф0、ф1；通過計算出ф0和ф1角的變化即可得出衛(wèi)星盤的自轉(zhuǎn)速度。本發(fā)明適用于衛(wèi)星盤轉(zhuǎn)速大于行星式托盤轉(zhuǎn)速，并且衛(wèi)星盤上晶圓片數(shù)大于等于2的情況。