一種薄膜方塊電阻的測量裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120147268.3 申請日 -
公開（公告）號 CN215066955U 公開（公告）日 2021-12-07
申請公布號 CN215066955U 申請公布日 2021-12-07
分類號 G01R27/14（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 來華杭;郭峰 申請（專利權(quán)）人 浙江上方電子裝備有限公司
代理機構(gòu) 杭州合信專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 沈自軍
地址 312366浙江省紹興市濱海新城暢和路7號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種薄膜方塊電阻的測量裝置，包括：支架；安裝在所述支架上，且轉(zhuǎn)動速度與待測薄膜行進速度相匹配的轉(zhuǎn)動輥；用于驅(qū)動所述轉(zhuǎn)動輥轉(zhuǎn)動的驅(qū)動裝置；設(shè)置在所述轉(zhuǎn)動輥上的至少一組測量探頭，同屬一組的測量探頭沿平行于轉(zhuǎn)動輥軸線方向布置于轉(zhuǎn)動輥的外周面，各測量探頭具有接觸待測薄膜的測量狀態(tài)；作用在所述測量探頭與轉(zhuǎn)動輥之間，使測量探頭在測量狀態(tài)下抵壓待測薄膜的彈性件。本申請?zhí)峁┑谋∧し綁K電阻測量裝置，適用于在線檢測流水線上的薄膜產(chǎn)品的方塊電阻。