一種生長指令檢查方法及裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201711182035.1 申請日 -
公開（公告）號 CN107895102B 公開（公告）日 2021-08-17
申請公布號 CN107895102B 申請公布日 2021-08-17
分類號 G16C20/20 分類 物理
發(fā)明人 吳文俊;顏建;胡雙元;張念站;朱忻 申請（專利權(quán)）人 蘇州矩陣光電有限公司
代理機構(gòu) 北京三聚陽光知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 馬永芬
地址 215614 江蘇省蘇州市張家港市鳳凰鎮(zhèn)鳳凰科創(chuàng)園D棟
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種生長指令檢查方法及裝置，其中方法包括：提取待檢查MOCVD生長指令中的第一特征字符；根據(jù)第一特征字符進行模擬生長得到生長結(jié)構(gòu)；將生長結(jié)構(gòu)與目標結(jié)構(gòu)進行比較，得到比較結(jié)果；根據(jù)比較結(jié)果確定待檢查MOCVD生長指令是否正確。由于將特征字符提取出來并進行模擬生長得到模擬的生成結(jié)構(gòu)，與目標結(jié)果對比從而檢查MOCVD生長指令的正確性，相較于現(xiàn)有技術(shù)中的人工對生長指令的多次校對，節(jié)省了時間成本，并降低了生長失敗的風險，提高了工作效率。