一種磁傳感部件、磁傳感器及磁傳感部件的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910488095.9 申請日 -
公開（公告）號 CN112051522A 公開（公告）日 2020-12-08
申請公布號 CN112051522A 申請公布日 2020-12-08
分類號 G01R33/00(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 朱忻;金鍵;何彬德;帕勒布·巴特查亞 申請（專利權(quán)）人 蘇州矩陣光電有限公司
代理機構(gòu) 北京三聚陽光知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 蘇州矩陣光電有限公司
地址 215614江蘇省蘇州市張家港市鳳凰鎮(zhèn)鳳凰科創(chuàng)園D棟，矩陣光電
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種磁傳感部件、磁傳感器及磁傳感部件的制備方法，包括：磁傳感部件基體，對磁傳感部件基體的兩面通過拋光工藝處理形成兩拋光面，在其中任一的拋光面上加工處理形成鈍化層，在鈍化層的部分區(qū)域上設置有粘合層，在粘合層上貼合有磁敏功能層，在磁敏功能層上設置有應力保護層，應力保護層覆蓋在磁敏功能層和鈍化層的剩余部分區(qū)域上。本發(fā)明磁傳感部件整體結(jié)構(gòu)較薄，將其反裝于主磁路或?qū)Т呕芈分校沟谜w磁路縫隙減小，在保證磁傳感器整體機械強度的基礎上，提高了磁傳感器的檢測精度。??