預(yù)測電鍍液的電鍍均勻性的電化學(xué)方法、篩選電鍍液的方法和應(yīng)用

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111243381.2 申請日 -
公開（公告）號 CN113960148B 公開（公告）日 2022-07-08
申請公布號 CN113960148B 申請公布日 2022-07-08
分類號 G01N27/48（2006.01）I;C25D21/00（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王彤;任長友;鄧川;劉鵬 申請（專利權(quán)）人 深圳市聯(lián)合藍(lán)海應(yīng)用材料科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京潤平知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 518020廣東省深圳市羅湖區(qū)筍崗街道筍西社區(qū)寶安北路1007號筍崗七號倉七層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及電鍍金整平性預(yù)測領(lǐng)域，公開了預(yù)測電鍍液的電鍍均勻性的電化學(xué)方法、篩選電鍍液的方法和應(yīng)用。電化學(xué)方法包括：在裝有電鍍液的電鍍池上施加電壓U進(jìn)行電鍍；將所述電壓U進(jìn)行變化，并測量對應(yīng)的電鍍電流強(qiáng)度I，繪制電鍍電流強(qiáng)度I對所述電壓U的變化曲線；通過所述變化曲線，計(jì)算為所述電鍍液設(shè)定的至少兩個電流密度值之間的電位差絕對值，用于預(yù)測所述電鍍液進(jìn)行電鍍制得的電鍍均勻性。由此有效判斷電鍍液的電鍍均勻性且用時短，特別是無氰鍍金液用于晶圓鍍金的電鍍均勻性。對于在電極表面吸附不具有強(qiáng)烈對流依賴性的添加劑也是有效的。