亞硫酸金鈉金水及其合成方法和應(yīng)用

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111348340.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114164465A 公開（公告）日 2022-03-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN114164465A 申請(qǐng)公布日 2022-03-11
分類號(hào) C25D3/48（2006.01）I;C25D7/12（2006.01）I 分類 電解或電泳工藝；其所用設(shè)備〔4〕;
發(fā)明人 鄧川;王彤;任長(zhǎng)友;曾智聰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市聯(lián)合藍(lán)海應(yīng)用材料科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京潤(rùn)平知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 劉亭亭
地址 518020廣東省深圳市羅湖區(qū)筍崗街道筍西社區(qū)寶安北路1007號(hào)筍崗七號(hào)倉(cāng)七層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及無(wú)氰鍍金液領(lǐng)域，公開了亞硫酸金鈉金水及其合成方法和應(yīng)用。該制備方法包括：將氯金酸溶液與氨水進(jìn)行沉淀反應(yīng)，得到明亮的橙黃色沉淀產(chǎn)物；其中，氨水的濃度為10?15wt％，且沉淀產(chǎn)物的終點(diǎn)pH為7.2?8.5；將所述沉淀產(chǎn)物進(jìn)行清洗過濾，得到雷酸金沉淀；將所述雷酸金沉淀與水混合配制成漿液，然后所述漿液與亞硫酸鹽進(jìn)行初始反應(yīng)，再調(diào)節(jié)得到的反應(yīng)產(chǎn)物的終止pH大于10且不大于11，得到堿性產(chǎn)物；將所述堿性產(chǎn)物進(jìn)行再反應(yīng)，得到不含三價(jià)金配合物的鍍金液。獲得無(wú)色的、而非僅是透明的無(wú)氰鍍金液，即無(wú)色透明亞硫酸金鈉金水，穩(wěn)定性好、克服了雜質(zhì)影響。能夠應(yīng)用于晶圓和芯片的加工中，尤其是晶圓電鍍金的應(yīng)用。